3月的淄博高新区，天高云淡、惠风和畅，走进位于青龙山脚下的智能微系统产业园A区齐鲁智能微系统创新产业基地（以下简称齐鲁智能微系统），以科学技术创新为要的产业高质量发展氛围浓厚。作为2023年新入选的“中国MEMS传感器十大园区”“省级科技公司加速器”和全市新一代信息技术产业链的主导区，齐鲁智能微系统立足资源禀赋和产业基础，持续发力专业化、精细化、特色化，创新动能越来越充沛，不断丰富着“优质园区”的实践内涵。
在园区企业山东福瑞德测控系统有限公司（以下简称福瑞德测控）生产车间，该公司经过7年自主研发的前端（产品）高精度压力传感元件，已实现量产。从最初单一的仪表生产商，到接续打通前端传感器研发、后端应用场景，福瑞德测控已成长为涵盖全产业链的自动化控制管理系统解决方案提供商。当前，福瑞德测控与高校联合攻关的传感器项目即将产业化，预计带来过亿元产值。
从一棵树到一片林，福瑞德测控是最早一批入住齐鲁智能微系统的企业，而如今，园区已然是科创企业云集，也正是他们生动书写着齐鲁智能微系统这片热土上的活力与追求。
“齐鲁智能微系统以MEMS、光电子、智能机器人为主导产业，规划占地5000亩，园区有重点企业122家，其中高新技术企业50家，国家级专精特新“小巨人”企业6家，省级“专精特新”中小企业22家，山东省瞪羚企业6家。”淄博高新区智能制造产业发展中心主任张猛和记者说，目前，园区拥有国产自主可控的光纤水听器、国内首款86寸金属网格铜柔性触控屏等打破国际垄断，或达到国际领先水平的高端产业项目32个，连续两年获评“省级数字化的经济园区”。
今年以来，齐鲁智能微系统不断的提高产业承载力、集聚力和协同力，增强产业链韧性，做大产业规模，园区内中科际联微纳光子集成中心项目，依托中国科学院半导体所在智能光电子、微电子领域的科研和人才优势，形成了光电芯片从研发设计、生产制造、封装测试到产品应用的全产业链；智洋创新自主研发的“基于深度学习技术的输电通道隐患智能识别算法模型”在全国百余个省市上线，电力直流电源智能监控领域市场占有率国内第一；亚华电子在全国全层次医护沟通领域市场占有率近60%……
优质园区是打造区域经济增长极、促进产业优化升级的重要载体平台，担负着聚集创新资源、培育新质生产力的重任。那么，如何让优质园区拥有更强生命力？齐鲁智能微系统积极在新兴起的产业上抢滩占先，在未来产业上前瞻布局。
齐鲁智能微系统将“创新平台、专家委员会和基金对研发项目进行设备工艺、技术和资金支持，利用加速器和产业园区实现产业化”的研发产业化机制一以贯之，围绕技术、平台、人才等要素，优化“科创平台”专业供给，加强与清华大学、中国科学院半导体所等国内大院大所、研发机构合作，对标国际领先水平，打造MEMS研究院、6英寸MEMS研发制造平台、微纳光子集成中心、北航天汇科技孵化器等高能级创新平台，促进创新链与产业链深层次地融合。突出“科学技术人才”核心支撑，引进清华大学贺克斌院士等一批带技术、带成果、带项目的国内外高层次人才，在园区进行研发中试和批量生产。强化“产业技术”攻关突破，破解产业链发展中的“卡脖子”问题，目前，MEMS研究院自主研发的MEMS陀螺仪、继电器、加速度计三款芯片，打破国外垄断；新恒汇与清华大学等研发机构合作，成功研制激光直写曝光机等首台套技术设备，将蚀刻引线%以上，超越国际水平；中科际联光电集成技术研究院和微纳光子集成中心研制的激光器、放大器等光子集成芯片，为国家“光纤水听”等重要工程任务的实施，提供了自主可控的光电子集成器件产品和解决方案。
眼下，齐鲁智能微系统正以“一个科创产业、一个园区承载、一组产业基金、一支专业团队、一套个性化政策、一个展示中心、一个专家委员会、一套共享平台、一张招商地图”的“九个一”平台双招双引机制，聚焦新质生产力向“新”突破，为区域经济高水平质量的发展提供澎湃动力。
